真空共晶焊炉 VSR-20MPA

VSR-20MPA是一款微波等离子辅助的先进共晶回流焊炉，主要用于高功率芯片与基底衬底的高可靠性的无空洞钎焊，如半导体激光器、光通讯模块、功率芯片封装等。该设备采用真空、惰性、还原气氛以及独有的等离子体技术来优化焊接质量，大幅提高封装的可靠性。

【配置选项】

真空系统、额外工艺气路、多种去氧化工艺模块、定制加热板、额外测温热电偶、循环冷水机、软启动和慢速充气

【产品特点】

无空洞的真空回流焊

完美兼容低温焊料工艺

微波等离子辅助去氧化

快速精准的温度曲线控制

无损伤等离子技术

操作简单便捷