EMP-80 是一款经济型立柜式系统，能够高效地去除材料表面有机污染物以及自然氧化层，活化材料表面，提高粘接、焊接的质量，且不会对物料造成物理轰击损伤。
腔体内部尺寸 | W400×H495×D435mm |
微波功率 | 2.45 GHz，100-1000W可调 |
工艺气路 | 标准1路，包括质量流量计和控制电磁阀等 |
真空规 | Pirani真空计 |
控制系统 | PLC触摸屏控制 |
真空泵 | 双级旋片式真空泵 |
电源 | 380V，50Hz，4.5KW 含真空泵 |
外形尺寸 | W850×H1600×D1070mm（不含三色灯和触摸屏） |
主要应用 | 材料表面有机污染物去除、表面活化、氧化物还原、光刻胶底膜去除以及表面聚合涂层等 |
【产品特点】
无损伤清洗
完美兼顾物理和化学清洗方式
超洁净清洗效果
优秀的去氧化清洗能力
工艺温度低
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